半導(dǎo)體和液晶制造廠對(duì)內(nèi)部的溫度、濕度和潔凈度等有著及其特殊的要求,廠務(wù)工程部作為制造廠后勤單位,承擔(dān)了對(duì)無塵室的水電氣全年24小時(shí)正常運(yùn)行的責(zé)任。友達(dá)光電蘇州公司廠務(wù)工程部副理歐字林身感責(zé)任重大,“廠務(wù)是生產(chǎn)線生產(chǎn)設(shè)備的源頭,任何一套系統(tǒng)出現(xiàn)問題,都會(huì)直接影響到生產(chǎn),所以我們廠務(wù)工作不能有一點(diǎn)兒中斷和故障。”
和艦科技（蘇州）有限公司無塵室要求溫度在23℃±0.5℃,濕度為45%±2.5%,生產(chǎn)區(qū)為0.1級(jí),維修區(qū)為1000級(jí)。為了防止和減少污染物的進(jìn)入,需要無塵室保持20Pa的正壓,和艦廠務(wù)工程部一位經(jīng)理介紹說。TFT-LCD后段組裝廠對(duì)工作環(huán)境的要求雖然沒有半導(dǎo)體和TFT前段高,但也需要無塵室設(shè)計(jì)。友達(dá)蘇州公司潔凈度為1萬到10萬級(jí),溫度為22℃±2℃,濕度為60%±7%。
為了保證這一環(huán)境,無塵室通常采用MAU+FFU的設(shè)計(jì),即作為主送風(fēng)的MAU將具有一定潔凈等級(jí)和溫濕度的風(fēng)送到無塵室的天花板,由于風(fēng)力已有減弱,再搭配小型的FFU再次送風(fēng),從而達(dá)到無塵室的溫濕度和正壓等要求。
維持無塵環(huán)境需要用到特殊的多層過濾網(wǎng)、密閉式馬達(dá)和空調(diào)箱等,其中被兩位采訪者統(tǒng)一稱為“主要源頭”的是冷水機(jī)組。因?yàn)椴徽摕o塵室還是辦公室空調(diào)系統(tǒng)都要用到冰水（冷凍水）,它是維持溫濕度的為關(guān)鍵的元素。和艦和友達(dá)同時(shí)選用了特靈空調(diào)（Trane）的冷水機(jī)組。
“當(dāng)初選擇冷水機(jī)組時(shí)經(jīng)過了慎重地考慮。除了設(shè)備的性能和可靠性,還要考慮設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用和節(jié)能效果。再好的設(shè)備也會(huì)壞,因此售后服務(wù)是建廠時(shí)評(píng)估的一項(xiàng)重點(diǎn)。”和艦廠務(wù)經(jīng)理說。半導(dǎo)體制造廠建成后通常需要使用10年以上,目前和艦一個(gè)月的電費(fèi)就達(dá)600多萬元,象冷水機(jī)組這樣的大負(fù)載設(shè)備,夏天大約占整體耗電的20％。在這種情況下,節(jié)能和高效的設(shè)計(jì)就成為了用戶需要重點(diǎn)考慮的問題。和艦廠務(wù)經(jīng)理介紹：“Trane的產(chǎn)品不但高效、節(jié)能,還具有熱回收的功能,它能將電機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)的發(fā)熱收集,變相提供中溫水。在冬天開機(jī)除濕的同時(shí)產(chǎn)生熱水,也達(dá)到了節(jié)能的效果。”

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